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发布日期:2021年10月22日
光配向设备 —— LCD Cell段高端屏制造


SPA255/20

SPA245/10

SPA200系列光配向设备主要应用于IPS TFT-LCD高端显示屏的配向工艺,可替代传统的摩擦配向设备。该系列设备能满足4.5代、5代、6代或更高世代产线光配向制程需求。
   产品特征

● 优异的光学均匀性

● 精确的偏光角控制

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● 优异的载台性能

   主要技术参数
 型号 SPA245/10  SPA255/20
 波长  254nm/ 313nm/ 365nm 254nm/ 313nm/ 365nm
偏光角精度  ±0.08° ±0.08°
 照度均匀性  < 5%  < 5%
 基板尺寸  730mm×920mm  1100mm×1300mm